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產(chǎn)品概述
TMA液體源蒸發(fā)系統(tǒng)主要由蒸發(fā)系統(tǒng)、PLC控制器、氣液控制閥組面板、稱重模塊及柜體等組成，用于實現(xiàn)氣液配比和蒸發(fā)，自動供應(yīng)TMA&Ar蒸汽。
