超純?cè)诩訜嵯到y(tǒng)用于半導(dǎo)體相關(guān)行業(yè)加熱應(yīng)用，加熱器由高純石英材料制成，系統(tǒng)管路采用PFA，適用于去離子水和較低腐蝕性的工藝化學(xué)品。加熱系統(tǒng)采用先進(jìn)的PID技術(shù)和PLC的邏輯操作進(jìn)行專業(yè)控制，溫度控制等級(jí)為± 0.5℃ ，產(chǎn)品適用于半導(dǎo)體，太陽(yáng)能，MEMS制造和其他需要嚴(yán)格純度標(biāo)準(zhǔn)的行業(yè)。
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